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特点/应用
◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF测试
◆ 外置多探针臂，移动行程大
◆ 经济实用，可无缝升级
主要参数| 组件 | 项目 | 型号 | |
| QYGO-2 | QYGO-4 | ||
| 腔体 | 样品台尺寸 | 2英寸 | 4英寸 |
| 样品固定 | 弹簧压片 | ||
| 观察窗口 | 2英寸 | 4英寸 | |
| 真空度 | 10-6torr | ||
| 探针臂接口 | 最多6个探针臂接口 | ||
| 其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 | ||
| 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷机 | |
| 控制方式 | 开循环手动 | 闭循环自动控制 | |
| 温度范围 | 77K~450K/4.5K~450K | 4.5K~450K | |
| 温控分辨率 | 0.1K/0.01K/0.001K | ||
| 稳定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K | ||
| 显微镜 | X-Y-Z移动行程 | 50mm*25mm*13mm | |
| 结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 | ||
| 移动精度 | 10um/lum | ||
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | ||
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 | ||
| 探针座 | X-Y-Z移动行程 | 50mm*25mm*13mm | |
| 结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 | ||
| 移动精度 | 10um/lum | ||
| 探针夹具 | 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
| 固定探针 | 弹簧固定/螺丝固定 | ||
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口 | ||
| 探针 | 频率支持 | DC-67GHZ | |
| 针尖直行 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um | ||
| 材质 | 钨钢/铍铜 | ||
| 真空组件 | 分子泵组/机械泵 | ||
| 冷源组件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机 | ||
| 外形 | 730mm长*750mm宽*1265mm高 | ||
| 重量 | 约100千克 | ||
工厂地址：深圳市龙华区福城街道新和社区田茜路19号二层 0755-29005300
业务经理：王先生 13802245525 （微信同号）
深圳公司：深圳市龙华区福城街道田茜路19号
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