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QYH-8-D双面探针台

QYH-8-D双面探针台

QYH-8-D双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用于需要正面和背面同时扎针的使用场景,该探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工程学,以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer 、 LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领域。
特点/应用

 

◆ 用于需要正面和背面同时扎针的使用场景;

 

◆ 同轴丝杠传动结构,线性移动

 

◆ 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计

 

◆ 针座平台快速、微调升降功能

 

◆ 可搭配多种类型显微镜;

 

◆ 集成电路、Wafer , LED、LCD、太阳能电池等行业测试;

 

◆ 结构模块化设计,可无缝升级

 

◆ 探针台可根据客户要求定制。

主要参数
双面针台主要参数
型号:QYH-8-D
组件项目特性和参数
台体Chuck尺寸8英寸
快速抽拉行程:120mm
水平旋转卡盘可以360°旋转,细调精度不大于0.1°,带有锁定旋钮
XY移动行程8英寸*8英寸
XY移动精度10um/lum可选
样品固定样品夹定,尺寸可调;
双面点针平台气动升降平台升起为双平台,落下可做单平台使用
平台针座数量单平台最多放置8个CB-200针座
卡盘结构普通/高温/带背电极等结构卡可选择
背电极测试样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极
温控系统温度范围室温~300℃(400℃,500℃可选)
温控精度0.1℃
温控稳定性士1℃
温控传感器100 Ω铂电阻传感器
正面光学系统CCD200W/500W/1200W像素可选(正反面)
显微镜类型单筒/体视/金相显微镜可选
放大倍率16X-100X/20X-2000X
显微镜调节水平方向绕立柱旋转X-Y移动2*2英寸,Z轴行程50.8mm
光源外置LED环形光源/同轴光源
背面光学系统显微镜类型L型单筒显微镜
连续变倍比6.3:1
放大倍率范围0.75-5X
放大倍率315X(计算公式:变焦*CCD*显示器)
显微镜调节微调行程:15*15mm;粗调行程100mm
光源同轴光源
探针座X-Y-Z移动行程12mm*12mm*12mm
移动精度10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式磁力吸附/真空吸附
DC调节点测角度0-30°
RF调节角度多点探头调水平旋钮,可以+-10°调节,精度0.1度
探针夹具线缆同轴线/三轴线/射频线
漏电精度10pA/100fA/10fA
固定探针弹簧固定/管状固定
接头类型BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口
探针DC针尖直径0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探针频率40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
材质钨钢/铍铜/镀镍
外形720mm长*725mm宽*710mm高
重量约150千克
可选附件屏蔽箱                       防震桌
高压测试配件                 探针卡夹具
激光系统                     镀金卡盘
根据客户要求定制